電子級羥基乙叉二膦酸（HEDP）

一、性能與用途

電子級HEDP為電子級高純產品，具有很強的金屬離子螯合能力，在半導體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝，可以提高研磨效率和光潔度，在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺，提高銅箔表面光潔度。

二、技術指標

三、包裝與貯存

電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝，每桶25kg或200kg，可根據客戶需求定制。貯存于室內陰涼通風處，貯存期十二個月。

四、安全與防護

電子級HEDP為酸性，操作時注意勞動防護，應避免與皮膚、眼睛等接觸，接觸后應立即用大量清水沖洗。